活性炭吸附塔的影响要素
现在职业中多选用活性炭吸附的办法进行氢气净化，活性炭吸附塔的吸附作用和处理才能也就成为了影响多晶硅质量与产值的关键要素。
1干法尾气收回工艺流程
干法尾气收回体系有四级冷凝、紧缩、吸收、解析、吸附、 气收回等单元操作。四级冷凝将复原尾气中很多的氯硅烷冷凝成液体被别离，收回的液体将用泵送人解析塔以解分出HCI。紧缩将经过四级冷却的气体由0.35MPa提压至1.2MPa。然后进人吸收塔用-40℃的氯硅烷液体吸收HCI，***约99.8%的HCI被吸收，吸收HCI的液体和四级冷却出的液体在解析塔中蒸馏出HCI，***约99.9%收回的HCI从解析塔的***部以-40℃液体形状流出。塔底氯硅烷进人精馏别离出TCS进人复原炉再运用。经过吸收塔喷淋后的氢气，还含有氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅以及硼和磷等物质，经过活性炭吸附净化后进人复原炉收回运用。
2活性炭吸附塔的吸附原理
活性炭是一种多孔性的含炭物质，它具有高度发达的孔隙结构，活性炭的多孔结构为其供给了很多的表面积，能与气体(杂质)充沛触摸，然后赋予了活性炭所***有的吸附功能，使其十分简单到达吸收搜集杂质的意图。就象磁力相同，一切的分子之间都具有彼此引力。正因为如此，活性炭孔壁上的很多的分子能够发生强壮的引力，然后到达将有害的杂质吸引到孔径中的意图。
多晶硅出产中，活性炭吸附塔运用了活性炭的物理吸附原理，将氢气中氯化氢、氯硅烷及少数的杂质吸附至活性炭的微孔内，已到达除杂的意图。而且这种吸附是 可逆的，杂质从活性炭微孔内脱附出来的进程，称为 进程。吸附塔在高压常温下吸附，在常压高温下完结脱附 ，三个吸附柱替换进行上述进程，完结一个吸附周期，完结氢气的接连纯化，得到满足要求的氢气。
3活性炭吸附塔的影响要素
活性炭在运用 的时刻后，需求进行加热 ，将吸附的物料脱附出来，并用洁净的氢气吹扫带出。此进程需求在规则的时刻周期内完结，相同活性炭吸附塔也需在规则的时刻内被加热到 所需温度。经过活性炭吸附塔氢气量越***，带人氯化氢、氯硅烷物料多，脱附时所需热量越多，活性炭吸附塔的升温越慢，在规则的时刻内难以到达 的温度，影响 作用。 作用欠安，直接影响吸附塔的吸附作用及处理才能。影响 温度的要素如下：
(l)活性炭传热系数影响
活性炭因厂家、类型不同而存在差异，其导热系数一般介于0.17~0.28W/m·k之间，传热功能差，致使 时热介质所供给的热量不能被充沛吸收，加热速率较慢。收购时，尽可能挑选质量***、功能***的活性炭，依据处理量计算出对应的活性炭装填量，并恰当放余量。
(2)活性炭吸附塔规划换热面积缺乏
吸附塔规划中换热面积缺乏，影响 时的加热温度，从而影响 作用；***要表现在热介质温度足够高，而其进出吸附柱的温差较小时。总结剖分出产数据发现，能够经过 范围内提高热介质的温度和流量来恰当补偿换热面积缺乏的问题。
吸附塔处理的氢气量为15000Nm3/h，热介质对应温度为180℃的前提下，热介质流量改变与到达 温度所需时刻。
(3)前端吸收塔吸收液组分的影响
氢气中夹藏的氯化氢、氯硅烷***要被吸附柱在吸附柱下部， 脱附时需求吸收很多的热量，脱附吸热基本上等同于汽化热，远远***于比热。 进程中氯硅烷脱附所需热量远***于温升所需热量。
出产证明，活性炭吸附柱处理复原尾气的才能远远小于处理氢化尾气的量。***要原因在于，氢化尾气处理体系中，氢气进人活性炭吸附柱前，在吸收塔用氯硅烷进行喷淋时，氯硅烷中的四氯化硅含量居高，蒸发度小，氢气中夹藏进人活性炭吸附塔的氯硅烷质量也相应较小，活性炭 时易加热， 充沛，处理才能也较***。而处理复原尾气时，吸收塔的氯硅烷喷淋液中三氯氢硅、二氯二氢硅比严重，氢气中夹藏多，形成活性炭 时加热速率慢，在规则的时刻内难以完结 进程，为确保氢气吸附作用，只能降吸附塔的处理量，形成处理才能下降。经过出产发现，复原尾气吸附塔中氢气夹藏氯硅烷的量较氢化尾气高百分之六十，而对应吸附塔的处理才能较氢化尾气下降百分之四十。
4活性炭吸附塔超负荷运转对产品质量的影响
当吸附柱长时间处于饱满状态下作业时，会使吸附柱的吸附才能下降，致使HCI对活性碳中的一些有害杂质，如磷、硼、碳等元素分出，并经过氢气一起带人复原出产体系中。一起经过出产数据剖析证明，活性炭吸附塔的负荷较小，处理量在满负荷的百分之八十以下时，氢气处理量与多晶硅产品中的杂质含量是没有相关性的；当活性炭吸附塔处理量过***，影响 作用时，氢气处理量与多晶硅产品中的杂质出现明显相关性。进一步证明活性炭吸附塔有吸附氢气中杂质的才能，超负荷运转直接影响多晶硅产品质量。
活性炭收购时，挑选适宜厂家及类型的活性炭，确保吸附功能；活性炭吸附塔在规划阶段，为确保 作用，应考虑恰当增***活性炭吸附塔换热面积，提高热介质温度；尾气收回中，在吸收塔喷淋环节进量下降吸收液中的轻组分杂质含量，较少吸附塔氯硅烷的带人量；当复原尾气中的氢气处理气量过***时，应添加吸附设备，防止影响多晶硅产品质量。
